亚电科技是半导体晶圆制造行业湿法制程设备商, 专注于晶圆前道湿法刻蚀清洗技术, 是国内首批推进半导体高端设备国产化的企业之一,目前公司在江苏无锡和海外设立了研发基地。      亚电的核心产品包括8吋、12吋槽式/单片湿法刻蚀清洗设备,作为一家拥有自主知识产权的高新技术企业,所有核心技术均已申请发明专利。通过多年的技术研发和积累,亚电通过多样化、个性化的解决方案致力于为客户提供更有竞争力的产品和服务。            为便于第一时间响应客户需求,公司在全国各重点城市设有售后团队。

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企业文化
使命
企业愿景
价值观
为客户提供更有竞争力的产品和服务
成为领先的中国半导体湿法制程设备商
以产品为中心:专注、品质、成本、极致、快
客户第一:快速响应,解决问题,客户立场,赢得客户信赖
团队合作:  诚信敬业,彼此尊重和信任
使命必达:艰苦奋斗,狼性的战斗力,高效的执行力
设备型号:
DF-3000B
设备类型:Cassette-type & Cassetteless-type
晶圆尺寸:300mm
设备配置:8~12 个槽体, 2~6 个Robot(可定制)

可搭载先进超声波、兆声波

槽体过温保护, 各Module配置漏液传感器

多级Wafer保护措施

化学液C.C.S.S or   L.C.S.S supply

自动换酸, 自动补液、配液( 可兼容多种浓度配比)

先进Marangoni干燥

加热控制, 浓度控制, 流量控制, 压力控制

化学液/水, 直排&回收
可靠性能:Uptime≥95%           Breakage≤1/100000

MTBF≥650 hours     MTTR≤3 hours       
软件控制:PC+PLC+GUI 控制, 支持Schedule、EAP、FDC等功能


设备型号:
FY-3000S
晶圆尺寸:300mm
腔       体:4~24 个腔体(可定制)

Vacuum or Grip方式

4~5 个Dispenser,2~3种化学液

排风分离:酸,碱,有机化学液分开排放
E F E M   :2 or 4 SMIF/FOUP, 1 Index robot, 1or 2WTR
化学药液:支持C.C.S.S / L.C.S.S Supply

化学液泵循环

加热控制, 浓度控制, 流量控制, 压力控制

化学液/水, 直排&回收
  配       置:   离子发生器、臭氧发生器、高清摄像头(可选)
可靠性能:Uptime≥95%         Breakage≤1/100000

MTBF≥500 hours    MTTR≤3 hours       
软件控制:PC+PLC+GUI 控制, 支持EAP、FDC等功能


软件著作权
技术专利
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